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申请/专利权人：北京配天技术有限公司
摘要：本申请公开了一种硅料酸洗设备，包括底座、槽体、排料通道、进酸通道和第一驱动机构；槽体活动设置在底座上，设有多个沿第一方向排列的清洗槽，相邻两个清洗槽之间设有能够关闭和开启的通道；排料通道设置在槽体外部且与槽体内部连通，用于排出槽体内部的硅料和酸液；进酸通道设置在槽体外部且与槽体内部连通，用于向槽体内部输送酸液；第一驱动机构用于驱动槽体相对底座转动，以使第一方向与水平方向相交，使硅料在重力作用下自排料通道排出槽体。通过上述方案能够避免大量硅料同时排出时堵塞排料通道，提高了酸洗工艺效率。
主权项：1.一种硅料酸洗设备，其特征在于，包括：底座；槽体，活动设置在所述底座上，设有多个沿第一方向排列的清洗槽，相邻两个所述清洗槽之间设有能够关闭和开启的通道；排料通道，设置在所述槽体外部且与所述槽体内部连通，用于排出所述槽体内部的硅料和酸液；进酸通道，设置在所述槽体外部且与所述槽体内部连通，用于向所述槽体内部输送酸液；第一驱动机构，用于驱动所述槽体相对所述底座转动，以使所述第一方向与水平方向相交，使所述硅料在重力作用下自所述排料通道排出所述槽体。
全文数据：
权利要求：
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