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申请/专利权人：默克专利股份有限公司

摘要：本发明涉及抗蚀剂组合物，其包含聚合物组分、光致产酸剂组分PAG、光活性邻叠氮萘醌组分PAC、碱组分、溶剂组分和任选的杂环硫醇组分。所述聚合物组分是酚醛清漆衍生物，其包含具有游离酚羟基部分的酚醛清漆重复单元，和包含用酸可裂解的缩醛部分保护的酚羟基部分的酚醛清漆重复单元。所述缩醛部分选自单官能烷基缩醛部分，其保护包含酚醛清漆酚羟基部分的重复单元；缩醛，其包含用PAC部分官能化的部分，用来保护包含酚醛清漆酚羟基部分的重复单元；包含二官能缩醛的部分，其连接和保护两个含有酚醛清漆酚羟基部分的重复单元，在所述聚合物组分中在两个不同的聚合物链之间形成连接点；以及任何这三种类型的酸可裂解的缩醛部分的混合物。PAC组分选自所述缩醛，其包含用PAC部分官能化的部分，用来保护包含酚醛清漆酚羟基部分的重复单元；游离PAC组分和这两种类型的PAC组分的混合物。本发明还涉及在厚膜或薄膜光致抗蚀剂器件制造方法中使用本发明组合物的方法。

主权项：1.抗蚀剂组合物，其包含聚合物组分、光酸产生剂组分PAG、光活性邻叠氮萘醌化合物PAC组分、碱组分、溶剂组分和任选的杂环硫醇组分，其中：所述聚合物组分包含 组B：具有结构I、III和IV的重复单元，其中具有结构III和IV的重复单元通过由表示的位置连接在一起，形成包含二官能缩醛的基团，所述基团包含具有结构III和IV的重复单元并在所述聚合物组分中在两个不同聚合物链之间形成在所述聚合物组分中的连接点，和进一步地，Ra、Rg和Rk独立地为C-1至C-4烷基；Rb、Rh和Rl独立地为-X-酚，其中X为-O-、-CCH32-、-C＝O-或-SO2-，并且na、ng和nk独立地为0至3；nb、nh和nl独立地为0或1，并且分别地，na和nb的总和、ng和nh的总和、以及nk和nl的总和不超过3，和进一步地，Ri和Rm独立地选自C-1至C-4烷基，和进一步地，Xa是亚烷基、-亚烷基氧亚烷基-或-亚烷基-O-亚烷基x'-，其中x'是2-6， 或 组C：具有结构I、III和V的重复单元，其中具有结构III和V的重复单元通过由表示的位置连接在一起，形成包含二官能缩醛的基团，所述基团包含具有结构III和V的重复单元并在所述聚合物组分中在两个不同聚合物链之间形成在所述聚合物组分中的连接点，和进一步，Ra、Rg和Rn独立地为C-1至C-4烷基；Rb、Rh和Ro独立地为-X-酚，其中X为-O-、-CCH32-、-C＝O-或-SO2-，na、ng和nn独立地为0至3；nb、nh和no独立地为0或1，并且na和nb的总和、ng和nh的总和、以及nn和no的总和分别不超过3；Ri和Rm2独立地选自C-1至C-4烷基；Xb为-O-、-CCH32-、-C＝O-或SO2-；Xc是亚烷基、-亚烷基氧亚烷基-或-亚烷基-O-亚烷基x'-，其中x'是2-6， 或 组E：具有结构I、III、IV和VI的重复单元，其中具有结构式III和IV的重复单元通过由表示的位置连接在一起，形成包含二官能缩醛的基团，所述基团在所述聚合物组分中在两个不同聚合物链之间形成在所述聚合物组分中的连接点，和进一步，Ra、Rg、Rk和Rp独立地为C-1至C-4烷基，Rb、Rh、Rl和Rq独立地为-X-酚，其中X为-O-、-CCH32-、-C＝O-或-SO2-，并且na、ng、nk和np独立地为0至3，nb、nh、nl和nq独立地为0或1，并且分别地，na和nb的总和、nh和ng的总和、nl和nk的总和、以及np和nq的总和不超过3，Ri和Rm独立地选自C-1至C-4烷基，Xa是亚烷基、-亚烷基氧亚烷基-或-亚烷基-O-亚烷基x'-，其中x'是2-6，并且进一步地其中，-PACb是在具有通过连接基团Xd连接的结构VI的重复单元中的PAC组分，其中Xd选自，直接的价键，亚烷基基团，亚烷氧基基团，其中所述亚烷基末端连接到结构VI的重复单元的缩醛氧基团，并且所述亚烷氧基基团的氧末端连接到PACb基团，和包含选自以下缩醛的基团；-亚烷基-O-CHCH3-O-，-亚烷基-O-亚烷基-O-CHCH3-O-，和-亚烷基-O-亚烷基x-O-CHCH3-O-，其中x为2至6，并且进一步地，其中在每个所述包含缩醛的基团中，该基团的亚烷基末端与结构VI的重复单元的缩醛氧基团连接，并且所述包含缩醛的基团的缩醛部分与PACb基团连接， 或 组F：结构I、III、V和VI的重复单元，其中具有结构式III和V的重复单元通过由表示的位置连接在一起，形成包含二官能缩醛的基团，所述基团在所述聚合物组分中在两个不同聚合物链之间形成在所述聚合物组分中的连接点，Ra、Rg、Rn和Rp独立地为C-1至C-4烷基，Rb、Rh、Ro和Rq独立地为-X-酚，其中X为-O-、-CCH32-、-C＝O-或-SO2-，na、ng、nn和np独立地为0至3，nb、nh、no和nq独立地为0或1，并且分别地，na和nb的总和、nn和no的总和、nl和nk的总和、以及np和nq的总和不超过3，Ri是C-1至C-4烷基，Xb为O、-CCH32-、-C＝O-或-SO2-，Xc是亚烷基、-亚烷基氧亚烷基-或-亚烷基O-亚烷基x'-，其中x'是2-6，并且其中进一步地PACb是通过连接基团Xd连接的具有结构VI的重复单元中的PAC组分，其中Xd选自，直接的价键，亚烷基基团，亚烷氧基基团，其中所述亚烷基末端连接到结构VI的重复单元的缩醛氧基团，并且所述亚烷氧基基团的氧末端连接到PACb基团，和包含选自以下缩醛的基团；-亚烷基-O-CHCH3-O-，-亚烷基-O-亚烷基-O-CHCH3-O-，和-亚烷基-O-亚烷基x-O-CHCH3-O-，其中x为2至6，并且进一步地，其中在每个所述包含缩醛的基团中，该基团的亚烷基末端与结构VI的重复单元的缩醛氧基团连接，并且所述包含缩醛的基团的缩醛部分与PACb基团连接， 和其中，在组B、C的情况下，所述PAC组分为游离的PAC组分；和在组E、F的情况下，所述PAC组分选自以下：包含用PAC基团官能化的基团的缩醛，用来保护包含酚醛清漆酚羟基基团的重复单元；游离的PAC组分，和这两种类型的PAC组分的混合物。

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百度查询： 默克专利股份有限公司 基于酚醛清漆/DNQ的化学增幅型光致抗蚀剂