买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：信越化学工业株式会社

摘要：一种化学增幅负型抗蚀剂组合物和图案形成方法。[课题]提供具有高溶解对比度、优异的CDU和LWR性能的化学增幅负型抗蚀剂组合物，以及使用该组合物的图案形成方法。[解决手段]一种化学增幅负型抗蚀剂组合物，其包含A聚合物P和B交联剂X，所述聚合物P包含规定结构的通过曝光而产生酸的重复单元、规定结构的通过酸的作用发生分解而使相对于显影液的溶解性发生变化的重复单元、以及具有酚性羟基的重复单元，所述交联剂X为被选自羟甲基、烷氧基甲基和酰氧基甲基中的至少1种基团取代的、三聚氰胺化合物、甘脲化合物、脲化合物或环氧化合物。

主权项：1.一种化学增幅负型抗蚀剂组合物，其包含A聚合物P和B交联剂X，所述聚合物P包含下述式A1～A4中任一者所示的通过曝光而产生酸的重复单元、式B所示的通过酸的作用发生分解而使相对于显影液的溶解性发生变化的重复单元、以及下述式C所示的具有酚性羟基的重复单元，所述交联剂X为被选自羟甲基、烷氧基甲基和酰氧基甲基中的至少1种基团取代的、三聚氰胺化合物、甘脲化合物、脲化合物或环氧化合物， 式中，RA各自独立地为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基；X1为单键或亚苯基；X2为*-C＝O-O-X21-、*-C＝O-NH-X21-或*-O-X21-；X21为碳原子数1～6的脂肪族亚烃基、亚苯基、或者将它们组合而得到的二价基团，任选包含羰基、酯键、醚键或羟基；X3各自独立地为单键、亚苯基、亚萘基或*-C＝O-O-X31-，X31为碳原子数1～10的脂肪族亚烃基、亚苯基或亚萘基，该脂肪族亚烃基任选包含选自羟基、醚键、酯键和内酯环中的至少1种；X4各自独立地为单键或*-X41-C＝O-O-，X41为任选包含杂原子的碳原子数1～20的亚烃基；X5为单键、亚甲基、亚乙基、亚苯基、氟化亚苯基、被三氟甲基取代的亚苯基、*-C＝O-O-X51-、*-C＝O-NH-X51-或*-O-X51-；X51为碳原子数1～6的脂肪族亚烃基、亚苯基、氟化亚苯基、或者被三氟甲基取代的亚苯基，任选包含羰基、酯键、醚键或羟基；*表示与主链的碳原子连接的键；R1和R2各自独立地为任选包含杂原子的碳原子数1～20的烃基，另外，R1与R2任选相互键合并与它们所键合的硫原子一同形成环；L1为单键、醚键、酯键、羰基、磺酸酯键、碳酸酯键或氨基甲酸酯键；Rf1和Rf2各自独立地为氟原子或碳原子数1～6的氟化饱和烃基；Rf3和Rf4各自独立地为氢原子、氟原子或碳原子数1～6的氟化饱和烃基；Rf5和Rf6各自独立地为氢原子、氟原子或碳原子数1～6的氟化饱和烃基，其中，全部Rf5和Rf6不同时为氢原子；M-为非亲核性抗衡离子；A+为鎓阳离子；a为0～3的整数， 式B中，RA为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基；Y1为单键、亚苯基、亚萘基或*-C＝O-O-Y11-，Y11为碳原子数1～20的脂肪族亚烃基、亚苯基或亚萘基，该亚烃基任选包含选自羟基、醚键、酯键和内酯环中的至少1种，*表示与主链的碳原子连接的键；RB和RC各自独立地为任选包含杂原子的碳原子数1～10的烃基，RB与RC任选相互键合并与它们所键合的碳原子一同形成环；R11为氟原子、碳原子数1～5的氟化饱和烃基或碳原子数1～5的氟化饱和烃氧基；R12为任选包含杂原子的碳原子数1～10的烃基；b1为0～2的整数；b2为0～5的整数；b3为0～2的整数， 式C中，RA为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基；Y2为单键或*-C＝O-O-，*表示与主链的碳原子连接的键；R21为卤素原子、氰基、任选包含杂原子的碳原子数1～20的烃基、任选包含杂原子的碳原子数1～20的烃氧基、任选包含杂原子的碳原子数2～20的烃基羰基、任选包含杂原子的碳原子数2～20的烃基羰氧基、或者任选包含杂原子的碳原子数2～20的烃氧基羰基；c1为1～4的整数；c2为0～4的整数；其中，1≤c1+c2≤5。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 信越化学工业株式会社 化学增幅负型抗蚀剂组合物和图案形成方法