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申请/专利权人：富士胶片株式会社
摘要：本发明提供一种发挥优异的环化率且保存稳定性也优异的感光性树脂组合物。并且，提供一种利用了上述感光性树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。感光性树脂组合物含有特定的热产碱剂和含杂环聚合物的前体，特定的热产碱剂具有羟基与酰胺结构‑C＝O‑N＝通过烃基L而连接的结构，L在L中的连接链的路径上具有饱和烃基，且连接链的路径上的原子数为3以上。
主权项：1.一种感光性树脂组合物，其含有：由下述式N1表示的热产碱剂；及，含杂环聚合物的前体； 式N1中，L表示在连结相邻的氧原子与碳原子的连接链的路径上具有饱和烃基的2价烃基，且所述连接链的所述路径上的原子数为4～8，RN1及RN2分别独立地表示1价有机基团，且任选地彼此连结而形成环状结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 富士胶片株式会社 感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件
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