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申请/专利权人：佳能株式会社
摘要：公开了曝光装置、曝光方法和物品制造方法。一种被配置为将基板曝光于来自固态发光元件的光的曝光装置包括：照明光学系统，被配置为用光照明掩模；以及投影光学系统，被配置为将掩模的图案的图像投影到基板上，其中，作为被包含在照明光学系统中的并与固态发光元件的发光面光学共轭的光瞳面上的光强度分布的光瞳面强度分布是在照明光学系统的光轴之外实现最大强度的光强度分布，并且其中，光瞳面强度分布是发光面的发光分布被以预定倍率投影的光瞳面上的光强度分布。
主权项：1.一种曝光装置，被配置为将基板曝光于来自固态发光元件的光，所述曝光装置包括：照明光学系统，所述照明光学系统包括：第一固态发光元件；第二固态发光元件；第一准直透镜，来自第一固态发光元件的光穿过所述第一准直透镜，所述第一准直透镜具有光轴；第二准直透镜，来自第二固态发光元件的光穿过所述第二准直透镜，所述第二准直透镜具有光轴；以及会聚透镜，被配置为会聚已穿过第一准直透镜和第二准直透镜的光，所述照明光学系统被配置为用来自第一固态发光元件和第二固态发光元件的光照明掩模；以及投影光学系统，被配置为将掩模的图案的图像投影到基板上，其中，第一固态发光元件绕第一准直透镜的光轴以第一旋转角度定向，其中，第二固态发光元件绕第二准直透镜的光轴以第二旋转角度定向，其中，第一旋转角度与第二旋转角度不同，其中，第一固态发光元件发射光使得在第一准直透镜的光轴之外实现最大强度，并且第二固态发光元件发射光使得在第二准直透镜的光轴之外实现最大强度，其中，会聚透镜的后焦点位置附近的光瞳面强度分布是通过叠加来自第一固态发光元件和第二固态发光元件的光而形成的光强度分布，使得第一准直透镜的光轴和第二准直透镜的光轴与会聚透镜的光轴重合，并且其中，光瞳面强度分布是在照明光学系统的光轴之外具有最大强度的光强度分布。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 曝光装置、曝光方法和物品制造方法
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