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申请/专利权人：佳能株式会社
摘要：本发明提供位置检测装置、曝光装置和物品制造方法。该位置检测装置包括：用于对目标进行照明的照明光学系统；用于在光电转换器上形成被照明的照明目标的图像的检测光学系统；具有第一孔径光阑的第一阵列；具有第二孔径光阑的第二阵列；第一驱动机构，其用于通过驱动第一阵列，使得横跨照明光学系统的光轴的第一孔径光阑在第一方向上移动，将所选择的第一孔径光阑布置在照明光学系统的光瞳上；以及第二驱动机构，其用于通过驱动第二阵列，使得横跨检测光学系统的光轴的第二孔径光阑在第二方向上移动，将所选择的第二孔径光阑布置在检测光学系统的光瞳上。第一和第二驱动机构分别在第一和第二方向上微调所选择的第一和第二孔径光阑的位置。
主权项：1.一种位置检测装置，其包括：光电转换器；照明光学系统，其被构造为对目标进行照明；检测光学系统，其被构造为在光电转换器的光接收表面上形成用来自照明光学系统的光所照明的目标的图像；第一阵列，其具有多个第一孔径光阑，所述多个第一孔径光阑被构造为布置在照明光学系统的光瞳上；第二阵列，其具有多个第二孔径光阑，所述多个第二孔径光阑被构造为布置在检测光学系统的光瞳上；第一驱动机构，其被构造为进行通过驱动第一阵列将从所述多个第一孔径光阑中选择的第一孔径光阑布置在照明光学系统的光瞳上的操作，使得所选择的第一孔径光阑沿第一方向移动，并且进行调整所选择的第一孔径在第一方向上的位置的操作；以及第二驱动机构，其被构造为进行通过驱动第二阵列将从所述多个第二孔径光阑中选择的第二孔径光阑布置在检测光学系统的光瞳上的操作，使得所选择的第二孔径光阑沿第二方向移动，并且进行调整所选择的第二孔径在第二方向上的位置的操作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 位置检测装置、曝光装置和物品制造方法
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