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集成电路、光电侦测器以及形成集成电路的方法 

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申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司

摘要:一种集成电路、光电侦测器以及形成集成电路的方法,集成电路包括光电侦测器。光电侦测器包括圆形光栅,此光栅形成在半导体基板中的环形沟槽中。圆形光栅包括定位在环形沟槽中的多个介电鳍片及多个光敏鳍片。圆形光栅配置用以接收入射光,并引导入射光围绕环形沟槽穿过多个介电鳍片及多个光敏鳍片,直至光被多个光敏鳍片中的一者吸收为止。

主权项:1.一种集成电路,其特征在于,包括:一半导体基板;一环形沟槽,在该半导体基板中;多个介电鳍片,在该环形沟槽中;以及多个光敏鳍片,定位在该环形沟槽中,每一光敏鳍片在两个相邻的介电鳍片之间,其中所述多个介电鳍片及所述多个光敏鳍片配置作为一圆形光栅,该圆形光栅配置用以引导入射光围绕该环形沟槽。

全文数据:

权利要求:

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