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申请/专利权人：默克专利股份有限公司;北卡罗来纳州立大学
摘要：所公开和要求保护的主题涉及使用亚硫酰氯（SOCl2）或亚硫酰氯和吡啶的组合对金属及其合金（例如，钴和钴合金）进行热原子层蚀刻（ALE）加工。
主权项：1.在反应器中进行的用于选择性地蚀刻金属基材的热ALE方法，其包括以下步骤：i通过将表面暴露于氯化剂在金属的表面上形成含氯化金属的层，ii进行第一吹扫以去除任何过量的氯化剂和或反应产物，iii通过将所述含氯化金属的层暴露于至少一种挥发剂在所述金属的表面上形成挥发性蚀刻产物；和iv进行第二吹扫以去除所述挥发性蚀刻产物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 默克专利股份有限公司 北卡罗来纳州立大学 使用共反应物作为卤化剂的金属的原子层蚀刻
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