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放电电极、放电电极的制造方法以及电子器件的制造方法 

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申请/专利权人:极光先进雷射株式会社

摘要:本公开的一个观点的放电电极用于气体激光装置,该气体激光装置通过放电来激励包含氟的激光气体,该放电电极具备:阴极电极,其在一个方向上延伸;以及阳极电极,其在一个方向上延伸,并且在与一个方向正交的放电方向上与阴极电极对置配置。阴极电极和阳极电极中的至少一方具有:电极基材,其包含金属;以及电介质,其设置于电极基材的一对侧面并包含具有空隙的第一层。第一层的空隙率在0.5%以上且25%以下的范围内。

主权项:1.一种放电电极,其用于气体激光装置,该气体激光装置通过放电来激励包含氟的激光气体,其中,所述放电电极具备:阴极电极,其在一个方向上延伸;以及阳极电极,其在所述一个方向上延伸,并且在与所述一个方向正交的放电方向上与所述阴极电极对置配置,所述阴极电极和所述阳极电极中的至少一方具有:电极基材,其包含金属;以及电介质,其设置于所述电极基材的一对侧面并包含具有空隙的第一层,所述第一层的空隙率在0.5%以上且25%以下的范围内。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 极光先进雷射株式会社 放电电极、放电电极的制造方法以及电子器件的制造方法

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