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申请/专利权人：极光先进雷射株式会社
摘要：在内部空间封入激光气体的气体激光装置的腔室具备：第一主电极和第二主电极，它们的长度方向沿着规定方向，在内部空间中彼此隔着间隔对置；窗口，其设置在腔室的壁面，使来自内部空间的光透过；以及第一预电离电极，其设置在第一主电极的一个侧方，第一预电离电极具备：第一电介质管；第一预电离内电极，其配置在第一电介质管的内部，沿着第一电介质管的长度方向延伸；和第一预电离外电极，其沿着第一电介质管的长度方向延伸，包括隔着第一间隙与第一电介质管对置的第一端部，第一间隙的至少一部分大于0mm且为0.9mm以下。
主权项：1.一种气体激光装置的腔室，其在内部空间封入激光气体，其中，所述气体激光装置的腔室具备：第一主电极和第二主电极，它们的长度方向沿着规定方向，在所述内部空间中彼此隔着间隔对置；窗口，其设置在所述腔室的壁面，使来自所述内部空间的光透过；以及第一预电离电极，其设置在所述第一主电极的一个侧方，所述第一预电离电极具备：第一电介质管；第一预电离内电极，其配置在所述第一电介质管的内部，沿着所述第一电介质管的长度方向延伸；和第一预电离外电极，其沿着所述第一电介质管的长度方向延伸，包括隔着第一间隙与所述第一电介质管对置的第一端部，所述第一间隙的至少一部分大于0mm且为0.9mm以下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 极光先进雷射株式会社 气体激光装置的腔室、气体激光装置以及电子器件的制造方法
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