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申请/专利权人：江苏优众微纳半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种整片晶圆纳米压印的装置和方法，包括储料箱以及设置于储料箱一侧顶部的传输台，所述储料箱内部的两侧均通过传动件设置有若干个支撑板，且左右两个所述支撑板的顶面之间放置有晶圆，所述传输台的背面固定设置有第一电动滑轨，且第一电动滑轨的顶面滑动设置有第一电动推杆，本发明涉及晶圆生产技术领域。该整片晶圆纳米压印的装置和方法，通过吸附取料机构的设置，能够自动从储料盒的内部吸附取出晶圆并摆放在放置板的顶面，并在完成纳米压印后又可将晶圆转移至传输台的顶面，通过传输台从而实现晶圆的下料转移工作，实现了晶圆的自动上下料，大大减轻了工作强度，也可避免因人员失误造成晶圆破碎的问题。
主权项：1.一种整片晶圆纳米压印的装置，包括储料箱（1）以及设置于储料箱（1）一侧顶部的传输台（2），其特征在于：所述储料箱（1）内部的两侧均通过传动件设置有若干个支撑板（3），且左右两个所述支撑板（3）的顶面之间放置有晶圆，所述传输台（2）的背面固定设置有第一电动滑轨（4），且第一电动滑轨（4）的顶面滑动设置有第一电动推杆（5），所述第一电动推杆（5）的伸出端通过安装板设置有吸附取料机构（6）；所述吸附取料机构（6）包括转动设置于安装板内部的螺纹套筒（61），且螺纹套筒（61）的内部螺纹连接有螺纹杆（62），所述螺纹杆（62）的内部设置有竖管（63），且竖管（63）位于螺纹杆（62）底面的一端连通有吸附管（64），所述竖管（63）表面的两侧均通过L形杆固定设置有第二电动推杆（65），且第二电动推杆（65）的伸出端通过连接块转动设置有滑轮（66）。
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百度查询： 江苏优众微纳半导体科技有限公司 一种整片晶圆纳米压印的装置和方法
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