首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

气膜、CMP研磨系统及实时检测气膜性能的方法 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:杭州积海半导体有限公司

摘要:本发明提供一种气膜、CMP研磨系统及实时检测气膜性能的方法,所述气膜具有相对的第一面和第二面,所述第一面为压力施加面,所述第二面的表面形成有导电层,如此,在所述气膜更靠近所述第二面的一侧设置金属极板,并对所述金属极板进行通电后,金属极板与导电层即可形成电容式位移传感器,当气膜位移发生变化时,电容值也会随之变化,因此,可以根据电容值的变化判断气膜的位移量,从而达到检测所述气膜是否达到使用寿命的目的。

主权项:1.一种气膜,所述气膜在充气后扩张而施加压力,其特征在于,所述气膜具有相对的第一面和第二面,所述第一面为压力施加面,所述第二面的表面形成有导电层。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 杭州积海半导体有限公司 气膜、CMP研磨系统及实时检测气膜性能的方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。