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申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要：本发明公开了一种化学气相沉积用液态气源匮入装置及方法，涉及分解式化学沉积技术领域，目的是提高匮入化学气相沉积反应腔的反应气源的纯度。本发明采用的技术方案是：化学气相沉积用液态气源匮入装置，包括第一储液罐和第二储液罐，第一储液罐装有抽气管、进料管和排料管，三根管道分别连接阀门，抽气管、进料管和排料管位于第一储液罐内部的一端相对第一储液罐的液位高度依次降低；第二储液罐安装入料管和出料管，入料管的一端位于第二储液罐的内部，另一端与排料管相连，出料管的一端位于第二储液罐的内部并位于罐底之外的位置。本发明通过两级储存和真空密封，避免杂质气体混入反应气源，用于将反应气源匮入化学气相沉积反应腔。
主权项：1.化学气相沉积用液态气源匮入装置，其特征在于：包括第一储液罐1和第二储液罐2，第一储液罐1装有三根管道，三根管道分别为抽气管11、进料管12和排料管13，三根管道与第一储液罐1之间均密封，三根管道的一端均位于第一储液罐1的内部，三根管道的另一端均位于第一储液罐1的外部，三根管道位于第一储液罐1的外部的管段分别连接阀门3，抽气管11、进料管12和排料管13位于第一储液罐1内部的一端相对第一储液罐1的液位高度依次降低；第二储液罐2安装两根管道，两根管道分别为入料管21和出料管22，两根管道与第二储液罐2之间均密封，入料管21的一端位于第二储液罐2的内部，入料管21的另一端与排料管13位于第一储液罐1外部的一端相连，出料管22的一端位于第二储液罐2的内部并位于罐底之外的位置，出料管22的另一端位于第二储液罐2的外部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 化学气相沉积用液态气源匮入装置及方法
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