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申请/专利权人：内蒙古京航特碳科技有限公司
摘要：本发明涉及外延石墨盘技术领域，公开了一种大尺寸外延石墨盘及其制备方法，该方法包括获取待制备的基底层石墨材料，对其进行抛光处理和表面清理。然后选择催化层的金属催化剂，并在第一预设环境下将其沉积到清理后的基底层石墨材料上。获取外延层石墨材料，并在第二预设环境下将其沉积在催化层远离基底层石墨材料的一侧，同时在外延层石墨材料的远离催化层的一侧设置微结构。随后，获取保护层材料，并将其沉积在外延层石墨材料远离催化层的一侧。获取制备后的大尺寸外延石墨盘，测量其磁导率和电阻率，并与预设的磁导率和电阻率进行比较，根据这些数据决定是否需要调整微结构的结构尺寸。本发明有效的提高了制备后的大尺寸外延石墨盘的使用性能。
主权项：1.一种大尺寸外延石墨盘制备方法，其特征在于，包括：获取待制备的基底层石墨材料，将所述基底层石墨材料进行抛光处理，并将抛光处理后所述基底层石墨材料进行表面清理；选择催化层的金属催化剂，并基于第一预设环境将所述金属催化剂沉积在表面清理后的所述基底层石墨材料，所述第一预设环境包括：第一预设沉积温度、预设气体流量和预设压力；获取外延层石墨材料，基于第二预设环境将所述外延层石墨材料沉积在所述催化层远离所述基底层石墨材料的一侧，并在所述外延层石墨材料远离所述催化层的一侧设置微结构，其中，所述第二预设环境包括：第二预设沉积温度和沉积时间；获取保护层材料，将所述保护层沉积在所述外延层石墨材料远离所述催化层的一侧；获取制备后的大尺寸外延石墨盘，并获取所述大尺寸外延石墨盘的磁导率和电阻率，并根据所述磁导率和电阻率与配置的预设磁导率和预设电阻率之间的关系，确定是否调整所述微结构的结构尺寸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古京航特碳科技有限公司 一种大尺寸外延石墨盘及其制备方法
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