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申请/专利权人：国家能源投资集团有限责任公司;北京低碳清洁能源研究院
摘要：本公开涉及一种柔性铜铟镓硒太阳电池的碱金属掺杂系统及碱金属掺杂方法，所述碱金属掺杂系统包括碱金属前掺杂区，吸收层沉积区，碱金属后掺杂区和热处理区；所述碱金属前掺杂区包括第一碱金属蒸发源和第一碱金属蒸发速率测量装置；所述碱金属后掺杂区包括第二碱金属蒸发源、碱金属后掺杂测量单元，第一硒蒸发源和第一硒热阴极离子规；所述碱金属后掺杂测量单元包括伸缩装置和第二碱金属蒸发速率测量装置。本公开的系统实现了对碱金属和硒的测量和监控，解决了碱金属快速扩散形成缺陷的问题和常规离子规检测时受环境影响而误判及长时间运行受硒蒸气腐蚀导致测试精度降低的难题，降低热处理的时间，同时为碱金属后掺杂提供更灵活和稳健的测控环境。
主权项：1.一种柔性铜铟镓硒太阳电池的碱金属掺杂系统，其特征在于，所述碱金属掺杂系统包括碱金属前掺杂区，吸收层沉积区，碱金属后掺杂区和热处理区；所述碱金属前掺杂区包括第一碱金属蒸发源和第一碱金属蒸发速率测量装置；所述碱金属后掺杂区包括第二碱金属蒸发源、碱金属后掺杂测量单元，第一硒蒸发源和第一硒热阴极离子规；所述碱金属后掺杂测量单元包括伸缩装置和第二碱金属蒸发速率测量装置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国家能源投资集团有限责任公司 北京低碳清洁能源研究院 一种柔性铜铟镓硒太阳电池的碱金属掺杂系统及碱金属掺杂方法
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