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申请/专利权人：周星工程股份有限公司
摘要：本发明关于制造太阳能电池的方法，太阳能电池中形成有分割部，分割部用以将用于制造太阳能电池的基板分割成多个区块，此方法包含：准备基板的工艺、第一基板蚀刻工艺、第二基板蚀刻工艺以及第三基板蚀刻工艺。第一基板蚀刻工艺是在基板的一表面形成第一凹槽。第二基板蚀刻工艺是在第一凹槽中形成第二凹槽。第三基板蚀刻工艺是蚀刻包含第二凹槽的基板。分割部可包含第一凹槽及第二凹槽。本发明关于由此方法制造的太阳能电池及用于太阳能电池的基板。
主权项：1.一种制造一太阳能电池的方法，该太阳能电池中形成有一分割部，该分割部用以将用于制造该太阳能电池的一基板分割成多个区块，该方法包含：准备该基板的工艺；第一基板蚀刻工艺，在该基板的一表面形成一第一凹槽；第二基板蚀刻工艺，在该第一凹槽中形成一第二凹槽；第三基板蚀刻工艺，蚀刻包含该第二凹槽的该基板；包含在该基板形成一第一薄膜层的第一薄膜层形成工艺的太阳能电池形成工艺，该太阳能电池形成工艺在该第三基板蚀刻工艺之后进行；以及沿着该分割部分割该基板的分割工艺，该分割工艺在该太阳能电池形成工艺之后进行，其中该分割部包含该第一凹槽及该第二凹槽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 周星工程股份有限公司 用于太阳能电池的基板、太阳能电池及太阳能电池制造方法
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