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申请/专利权人：中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要：一种自动化跨厂搬运方法、跨厂搬运服务器、系统及介质。所述系统包括：第一跨厂搬运服务器、第二跨厂搬运服务器、一个以上桥梁仓储设备；其中：在第一制造执行系统发送物料搬运请求后，由所述第一跨厂搬运服务器，基于所述第一制造执行系统发送的物料搬运请求，生成物料传输请求至第一物料控制系统，使得所述第一物料控制系统将第一待运输晶圆盒运输至第一桥梁仓储设备；在所述第一物料控制系统将第一待运输晶圆盒运输至所述第一桥梁仓储设备后，由所述第二跨厂搬运服务器为第二物料控制系统提供第一待运输晶圆盒的目标搬运地址信息，使得所述第二物料控制系统将第一待运输晶圆盒运输至目标搬运地址。采用上述方案，可以实现自动化跨厂搬运。
主权项：1.一种跨厂搬运系统，其特征在于，包括：第一跨厂搬运服务器；第二跨厂搬运服务器；以及一个以上桥梁仓储设备；其中：在第一制造执行系统发送物料搬运请求后，由所述第一跨厂搬运服务器，基于所述第一制造执行系统发送的物料搬运请求，生成物料传输请求至第一物料控制系统，使得所述第一物料控制系统将第一待运输晶圆盒运输至第一桥梁仓储设备；在所述第一物料控制系统将第一待运输晶圆盒运输至所述第一桥梁仓储设备后，由所述第二跨厂搬运服务器为第二物料控制系统提供第一待运输晶圆盒的目标搬运地址信息，使得所述第二物料控制系统将第一待运输晶圆盒运输至目标搬运地址；所述桥梁仓储设备，为第一半导体厂及第二半导体厂之间的桥梁仓储设备；所述第一物料控制系统、第一制造执行系统及第一跨厂服务器位于所述第一半导体厂内；所述第二物料控制系统及第二跨厂服务器位于所述第二半导体厂内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 自动化跨厂搬运方法、跨厂搬运服务器、系统及介质
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