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申请/专利权人：环球晶圆股份有限公司
摘要：本发明提出一种晶棒治具模块及晶棒开沟方法。晶棒治具模块包括晶向定位治具及开沟治具。晶向定位治具包括容置槽及中心固定部，容置槽适于容置晶棒。中心固定部适于连接至旋转结构，以使晶向定位治具连同晶棒被旋转结构带动。开沟治具包括开沟底板及开沟盖板。开沟底板可拆卸地固定于晶向定位治具的下方，且包括第一开沟凹槽。开沟盖板覆盖于晶向定位治具及开沟底板上方，且包括对应于第一开沟凹槽的第二开沟凹槽。晶棒与晶向定位治具适于被夹置在开沟底板与开沟盖板之间，且晶棒局部地外露于第一开沟凹槽与第二开沟凹槽。
主权项：1.一种晶棒治具模块，适于使一晶向测量装置测量一晶棒的晶向，其中该晶向测量装置包括一测量组件、一第一定位结构及一旋转结构，该晶棒适于抵靠在该第一定位结构上，且被该测量组件测量晶向，该晶棒治具模块包括：一晶向定位治具，包括一容置槽及一中心固定部，其中该容置槽适于容置该晶棒，该中心固定部适于连接至该旋转结构，以使该晶向定位治具连同该晶棒被该旋转结构带动；以及一开沟治具，包括：一开沟底板，可拆卸地固定于该晶向定位治具的下方，且包括一第二定位结构及一第一开沟凹槽，该第二定位结构适于与该第一定位结构定位；以及一开沟盖板，覆盖于该晶向定位治具及该开沟底板上方，且可拆卸地固定于该开沟底板，该开沟盖板包括对应于该第一开沟凹槽的一第二开沟凹槽，其中该晶棒与该晶向定位治具适于被夹置在该开沟底板与该开沟盖板之间，且该晶棒局部地外露于该第一开沟凹槽与该第二开沟凹槽。
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