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申请/专利权人：广东先导微电子科技有限公司
摘要：本申请公开一种晶体脱模方法，包括以下步骤：将坩埚和晶体放置于装有甲醇的密封容器中，且坩埚和晶体浸没在甲醇中；对密封容器进行加热保温和超声处理；将坩埚和晶体抬升至甲醇的液面上方，并对密封容器抽真空；对密封容器破真空，然后将坩埚和晶体浸没在甲醇中，并对密封容器进行加热保温和超声处理。坩埚和晶体浸泡在甲醇中时，通过对密封容器进行加热保温和超声处理，可以提高甲醇对氧化硼的溶解速率，从而加快脱模速度，缩短晶体脱模的时间，提高生产效率。另外，对密封容器抽真空可以将坩埚和晶体之间残留的甲醇排出，从而方便后续新鲜的甲醇进入，提高对氧化硼的溶解效果，方便后续的脱模，进一步地提高脱模速度及脱模率。
主权项：1.一种晶体脱模方法，其特征在于，包括以下步骤：S110，将坩埚和晶体放置于装有甲醇的密封容器中，且所述坩埚和所述晶体浸没在所述甲醇中；S120，对所述密封容器进行加热保温和超声处理；S130，将所述坩埚和所述晶体抬升至所述甲醇的液面上方，并对所述密封容器抽真空；S140，对所述密封容器破真空，然后将所述坩埚和所述晶体浸没在所述甲醇中，并对所述密封容器进行加热保温和超声处理。
全文数据：
权利要求：
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