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申请/专利权人：杭州视光半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种红外显微镜物镜，沿着光轴由像侧至物侧依序包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜和第七透镜；其中第二透镜的物侧面与第三透镜的像侧面胶合，第三透镜的物侧面与第四透镜的像侧面胶合，第二透镜、第三透镜和第四透镜形成具有负光焦度的三胶合透镜；红外显微镜物镜的有效焦距为f，三胶合透镜的焦距为fTB，红外显微镜物镜满足|fTBf|10。本发明在确保准确成像的基础上，尽可能的提升物方分辨率；用于红外光波段，可适用于半导体制造业中硅基芯片和晶圆等检测过程中。|fTBf|10的设计可有效降红外显微镜物镜中三胶合透镜的光焦度及公差敏感性，提高成像清晰度。
主权项：1.一种红外显微镜物镜，其特征在于，沿着光轴由像侧至物侧依序包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜和第七透镜；其中所述第二透镜的物侧面与所述第三透镜的像侧面胶合，所述第三透镜的物侧面与所述第四透镜的像侧面胶合，所述第二透镜、所述第三透镜和所述第四透镜形成具有负光焦度的三胶合透镜；所述红外显微镜物镜的有效焦距为f，所述三胶合透镜的焦距为fTB，所述红外显微镜物镜满足：|fTBf|10。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州视光半导体科技有限公司 红外显微镜物镜
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