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申请/专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体技术领域，提供了一种大口径物镜防护装置、物镜系统及光刻设备，所述大口径物镜防护装置包括：防护主体和导流件；所述防护主体设有防护腔；所述防护腔的内壁具有第一凸出部，所述第一凸出部上具有环状的第一导流面，所述导流件具有环状的第二导流面，所述第二导流面和所述第一导流面沿所述第一方向相对设置，并合围形成环状的喷孔，所述喷孔沿所述第一方向的正向倾斜。本发明通过喷孔式导流结构，利于气流直接向物镜中心侧流动，可形成较大且完整的覆盖范围，使得防护装置可应用各种口径尤其是过约束空间下大口径物镜的防护，为后续扩大应用提供了技术基础。
主权项：1.一种大口径物镜防护装置，其特征在于，包括：防护主体和导流件；所述防护主体设有防护腔、环形流道和多个出气孔；所述防护腔沿所述第一方向贯通于所述防护主体，所述环形流道围绕所述防护腔设置，所述出气孔设置于所述防护腔的内壁，各所述出气孔沿所述防护腔的内壁周向设置；所述防护腔的内壁向所述防护腔的中心凸出形成环状的第一凸出部，所述第一凸出部沿所述第一方向的一侧具有环状的第一导流面，所述导流件与所述防护主体连接，所述导流件具有环状的第二导流面，所述第二导流面和所述第一导流面沿所述第一方向相对设置，并合围形成环状的喷孔，所述喷孔沿所述第一方向的正向倾斜，且所述喷孔与各所述出气孔连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海微电子装备(集团)股份有限公司 大口径物镜防护装置、物镜系统及光刻设备
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