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申请/专利权人:成都联江科技有限公司
摘要:本发明公开了一种投影物镜和投影设备,涉及光学系统技术领域,其中,投影物镜具有沿光轴方向对应设置的物侧和像侧,投影物镜包括由物侧到像侧依次布设的第一透镜至第二十透镜;其中,第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜、第十四透镜、第十五透镜、第十七透镜、第十八透镜、第十九透镜具有正光焦度;第一透镜、第二透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十六透镜、第二十透镜具有负光焦度,使得投影物镜的曝光全视场小于等于30mm,分辨率小于等于1.5μm。本发明提供的技术方案通过对二十块光学镜片的设计以及排列使投影物镜同时达到高分辨率,大视场的效果。
主权项:1.一种投影物镜,其特征在于,所述投影物镜具有沿光轴方向对应设置的物侧和像侧,所述投影物镜包括由物侧到像侧依次布设的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜、第十四透镜、第十五透镜、第十六透镜、第十七透镜、第十八透镜、第十九透镜、第二十透镜;其中,所述第三透镜、所述第四透镜、所述第五透镜、所述第六透镜、所述第十一透镜、所述第十二透镜、所述第十三透镜、所述第十四透镜、所述第十五透镜、所述第十七透镜、所述第十八透镜、所述第十九透镜具有正光焦度;所述第一透镜、所述第二透镜、所述第七透镜、所述第八透镜、所述第九透镜、所述第十透镜、所述第十六透镜、所述第二十透镜具有负光焦度,以使得投影物镜的曝光全视场小于等于30mm,分辨率小于等于1.5μm。
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