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申请/专利权人：上海交通大学
摘要：本发明提供了一种法应力电磁驱动的三轴快速刀具伺服装置及其使用方法，包括：柔顺导向机构组件1：用于引导金刚石刀具；垂直轴法应力电磁致动器组件2：用于为金刚石刀具垂直轴方向提供驱动力；平面轴法应力电磁致动器组件3；用于为金刚石刀具平面轴方向提供驱动力；外壳组件4：用于连接各机构组件部分。本发明实现特征尺度为微米级的金属微结构元件的高效、高精加工目标。
主权项：1.一种法应力电磁驱动的三轴快速刀具伺服装置，其特征在于，包括：柔顺导向机构组件1：用于引导金刚石刀具；垂直轴法应力电磁致动器组件2：用于为金刚石刀具垂直轴方向提供驱动力；平面轴法应力电磁致动器组件3；用于为金刚石刀具平面轴方向提供驱动力；外壳组件4：用于连接各机构组件部分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海交通大学 法应力电磁驱动的三轴快速刀具伺服装置及其使用方法
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