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申请/专利权人：锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要：本申请提出一种声表面波器件的制造方法及相关器件，该方法包括：在衬底上形成光刻胶图形；在所述光刻胶图形的镂空区域和所述光刻胶图形上沉积金属膜层；在金属膜层上沉积保护层薄膜；将所述光刻胶图形以及所述光刻胶图形上的膜层剥离。本申请实施例中通过在金属膜层沉积后不剥离所述光刻胶图形的情况下，在所述光刻胶图形的镂空区域的金属膜层上沉积保护层薄膜，可以更好的减轻叉指换能器金属膜层的腐蚀、氧化或扩散情况，提升声表面波滤波器的性能。
主权项：1.一种声表面波器件的制造方法，其特征在于，包括：在衬底上形成光刻胶图形；在所述光刻胶图形的镂空区域和所述光刻胶图形上沉积金属膜层；在所述金属膜层上沉积保护层薄膜；将所述光刻胶图形以及所述光刻胶图形上的膜层剥离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 锐石创芯(重庆)科技有限公司 声表面波器件的制造方法及相关器件
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