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一种CMP机台的管路清洗装置 

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申请/专利权人:芯恩(青岛)集成电路有限公司

摘要:本实用新型提供了一种CMP机台的管路清洗装置,用于清洗研磨液供应系统,包括:混液机和清洗桶,均用于容纳清洗液;所述混液机的进液口与供液管路相连通,混液机的出液口通过自循环管路与供液管路相连通,所述供液管路中的常用供应节点接入至少一主支路的进液口,所述至少一主支路的出液口连接于一机台上的工作台,清洗桶连接M个机台,每个机台的闲置供应节点接入一辅支路的进液口,所述一辅支路的出液口通过回流管道接入至所述供液管路的常用供应节点。能够一键启动,实现对所述供液管路和机台内部所述主支路的双向清洗,提高清洗效率,节省人力。

主权项:1.一种CMP机台的管路清洗装置,用于清洗研磨液供应系统,其特征在于,包括:混液机和清洗桶,均用于容纳清洗液;所述混液机的进液口与供液管路相连通,混液机的出液口通过自循环管路与供液管路相连通,所述供液管路中的常用供应节点接入至少一主支路的进液口,所述至少一主支路的出液口连接于一机台上的工作台,清洗桶连接M个机台,每个机台的闲置供应节点接入一辅支路的进液口,所述一辅支路的出液口通过回流管道接入至所述供液管路的常用供应节点。

全文数据:

权利要求:

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