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申请/专利权人：南通玖方新材料股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种增加硅片放置槽的载板，托盘（2）由多块小托盘组成，小托盘相互之间进行锁紧固定，托盘（2）通过螺丝（22）固定于框架（1），多块小托盘和框架（1）组合形成载板，托盘（2）设有存放槽，在上料时通过机械手将待加工的硅片放置在存放槽中，框架（1）移动时带动硅片在各个加工工位之间转移，框架（1）包括左上框架（6）、中上框架（8）、右上框架（10）、右下框架（12）、中下框架（14）和左下框架（16），左上框架（6）设置有连接杆（3）和纵向支撑杆（5），连接杆（3）和纵向支撑杆（5）之间连接有横向支撑杆（4），本实用新型可以增加硅片放置槽，提高硅片的镀膜效率。
主权项：1.一种增加硅片放置槽的载板，其特征在于：包括托盘（2），所述托盘（2）由多块小托盘组成，所述小托盘相互之间进行锁紧固定，所述托盘（2）通过螺丝（22）固定于框架（1），多块小托盘和所述框架（1）组合到一块形成载板，所述托盘（2）设有存放槽，在上料时将待加工的硅片放置在所述存放槽中，所述框架（1）移动时带动硅片在各个加工工位之间转移，所述框架（1）包括左上框架（6）、中上框架（8）、右上框架（10）、右下框架（12）、中下框架（14）和左下框架（16），所述左上框架（6）设置有连接杆（3）和纵向支撑杆（5），所述连接杆（3）和纵向支撑杆（5）之间连接有横向支撑杆（4）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南通玖方新材料股份有限公司 一种增加硅片放置槽的载板
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