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一种硅片对夹导正装置 

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申请/专利权人:捷造科技(宁波)有限公司

摘要:本实用新型公开了一种硅片对夹导正装置,包括:分别左、右设置的一个导正底板,每个导正底板包括一个横向的主部,在所述主部两端垂直方向分别对称设置第一副部与第二副部,所述第一副部的两端垂直方向分别对称设置第三副部与第四副部,在所述第二副部的两端的端部下方竖直方向分别设置一个第一导正杆,在所述第三副部与第四副部的端部下方竖直方向分别设置一个第二导正杆,左导正底板的第二副部嵌入右导正底板的由第三副部与第四副部之间形成的区域,形成交错设置。本实用新型的优点是:简化导正装置的机械结构,降低了制造和维护成本。

主权项:1.一种硅片对夹导正装置,其特征在于,包括:分别左、右设置的一个导正底板,每个导正底板包括一个横向的主部,在所述主部两端垂直方向分别对称设置第一副部与第二副部,所述第一副部的两端垂直方向分别对称设置第三副部与第四副部,在所述第二副部的两端的端部下方竖直方向分别设置一个第一导正杆,在所述第三副部与第四副部的端部下方竖直方向分别设置一个第二导正杆,左导正底板的第二副部嵌入右导正底板的由第三副部与第四副部之间形成的区域,形成交错设置,使得左导正底板的第二导正杆与右导正底板的第二导正杆之间的区域放置左硅片,左导正底板的第一导正杆与右导正底板的第一导正杆之间的区域放置右硅片,在左、右导正底板的主部上分别设置一个连接底座,左、右连接底座再连接驱动组件。

全文数据:

权利要求:

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