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申请/专利权人:北京卓镭激光技术有限公司
摘要:本申请公开了一种端面泵浦长脉宽紫外激光器,属于激光器领域,包括:半导体激光器、耦合系统、激光谐振腔、激光晶体、调Q器件、二倍频晶体、三倍频晶体;半导体激光器发射泵浦光通过耦合系统耦合进入激光晶体,激发激光晶体发射基频光;基频光在激光谐振腔内振荡,通过调Q器件调制成重复频率的巨脉冲激光;巨脉冲激光中的部分激光通过二倍频晶体倍频为绿光;绿光与巨脉冲激光剩余部分通过双波长反射镜反射进入三倍频晶体后三倍频变换产生紫外激光,三倍频晶体的布儒斯特面将三波长激光分开,绿光、紫外激光从激光谐振腔中输出。激光器解决现有侧面泵浦长脉宽紫外激光器激光晶体通光截面尺寸限制问题,获得高功率高重频长脉宽紫外激光输出。
主权项:1.一种端面泵浦长脉宽紫外激光器,其特征在于,包括:半导体激光器、耦合系统、激光谐振腔、激光晶体、调Q器件、二倍频晶体、三倍频晶体;所述半导体激光器发射泵浦光,所述泵浦光通过所述耦合系统耦合进入所述激光晶体,激发所述激光晶体发射基频光;所述基频光在所述激光谐振腔内振荡,通过所述调Q器件调制成重复频率的巨脉冲激光;所述巨脉冲激光中的部分激光通过所述二倍频晶体倍频为绿光;所述绿光与所述巨脉冲激光中的剩余激光通过双波长反射镜反射进入所述三倍频晶体后三倍频变换产生紫外激光,所述三倍频晶体的布儒斯特面将三波长激光分开,所述绿光、紫外激光从所述激光谐振腔中输出;所述激光谐振腔还包括第一基频光反射镜、第二基频光反射镜、第三基频光反射镜;所述第一基频光反射镜为平面镜,双面镀泵浦光减反膜,靠近所述激光晶体面镀基频光高反膜;所述第二基频光反射镜为平凹镜,凹面镀基频光高反膜;所述第三基频光反射镜为平凸镜,凸面镀基频光高反膜;在第一方向沿同光轴依次设置所述半导体激光器、耦合系统、第一基频光反射镜、激光晶体、第二基频光反射镜;在第二方向依次包括所述调Q器件、第三基频光反射镜,所述调Q器件位于所述第一基频光反射镜在第二方向的后方;在第三方向依次包括所述双波长反射镜、二倍频晶体、三倍频晶体,所述三倍频晶体位于所述第二基频光反射镜在第三方向的前方,所述第一基频光反射镜、第二基频光反射镜、第三基频光反射镜、双波长反射镜共同组成所述激光谐振腔。
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