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申请/专利权人：中国科学院光电技术研究所
摘要：本发明涉及一种大口径曲面光学元件表面缺陷三维检测装置及方法，属于光学元件表面缺陷三维检测领域，装置包括移动平台、3D线光谱共焦传感器、定标头、工业相机、远心镜头、环形光源、点光源和相机轴微调装置等；方法包括步骤：待测元件定位与对焦；3D线光谱共焦传感器扫描获取缺陷位置，获取缺陷三维信息；切换至二维缺陷检测模块，获取表面缺陷二维信息；将二维信息与三维信息进行综合分析，获取待测元件表面上各缺陷的三维检测结果。本发明通过移动平台搭载两种缺陷检测模块，实现了对大口径曲面光学元件表面缺陷的快速定位与高精度三维检测。
主权项：1.一种大口径曲面光学元件表面缺陷三维检测装置，其特征在于，所述装置包括移动平台、3D线光谱共焦传感器、工业相机、远心镜头、环形光源、点光源、相机轴微调装置；其中，3D线光谱共焦传感器构成三维点云检测模块；工业相机、远心镜头、环形光源、点光源、相机轴微调装置构成二维缺陷检测模块；二维缺陷检测模块紧靠于三维点云检测模块前端；三维点云检测模块和二维缺陷检测模块搭载至移动平台；工业相机位于二维缺陷检测模块的最上端，实现图像采集功能；远心镜头安装于工业相机正下端，实现清晰成像；环形光源安装于远心镜头下端，实现暗场照明；点光源安装于远心镜头侧面的开孔处，实现明场照明；相机轴微调装置位于3D线光谱共焦传感器和远心镜头的中间，控制二维缺陷检测模块进行上下微调，实现图像对焦；三维点云检测模块用于获取大口径曲面光学元件全表面的点云数据；二维缺陷检测模块用于获取大口径曲面光学元件的二维缺陷信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院光电技术研究所 一种大口径曲面光学元件表面缺陷三维检测装置及方法
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