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申请/专利权人：上海积塔半导体有限公司
摘要：本申请涉及一种晶圆检测装置，通过设置扫描架环绕被测晶圆，扫描支柱与扫描架连接，用于支撑扫描架沿第一方向移动，光栅位于扫描架上，在扫描支柱沿第一方向移动时，扫描架沿第一方向移动，同时光栅产生的激光扫过被测晶圆，当激光被遮挡时，光强发生变化，而激光未被遮挡时，光强最大，因此根据激光的光强可以获取遮挡时间，进而获取被测晶圆的晶圆信息，控制器根据晶圆信息确定晶圆状态是否为倾斜或翘曲等状态。本申请的晶圆检测装置通过与被测晶圆之间的相对运动，使光栅扫过所有被测晶圆，从而获取被测晶圆的晶圆状态，不但可以判断晶圆是否处于异常，也可检测晶圆片数。
主权项：1.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括：扫描架，用于环绕被测晶圆；扫描支柱，与所述扫描架连接，用于支撑所述扫描架沿第一方向移动；光栅，位于所述扫描架上，用于在所述扫描支柱沿所述第一方向移动时，根据激光的遮挡时间获取所述被测晶圆的晶圆信息；控制器，与所述光栅连接，用于根据所述晶圆信息输出所述被测晶圆的晶圆状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海积塔半导体有限公司 晶圆检测装置
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