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封装结构 

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申请/专利权人:麦斯塔微电子(深圳)有限公司

摘要:本申请提供一种封装结构,包括堆叠设置的MEMS芯片以及IC芯片,MEMS芯片与IC芯片之间设置有胶层,胶层的杨氏模量小于或等于1260Mpa,胶层的热膨胀系数小于或等于102ppmK,以降低封装应力对MEMS芯片频率偏移的影响。

主权项:1.一种封装结构,其特征在于,包括堆叠设置的MEMS芯片以及IC芯片,所述MEMS芯片与所述IC芯片之间设置有胶层,所述胶层的杨氏模量小于或等于1260Mpa,所述胶层的热膨胀系数小于或等于102ppmK。

全文数据:

权利要求:

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