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申请/专利权人：英飞凌科技股份有限公司
摘要：本公开涉及MEMS传感器，包括传感器壳体和布置在传感器壳体中的膜，其中传感器壳体的第一子容积与膜的第一主侧面相邻，并且传感器壳体的第二子容积与膜的第二主侧面相邻，其中第二主侧面与第一主侧面相对地布置。该MEMS传感器包括传感器壳体中的第一开口，该第一开口将第一子容积与传感器壳体的外部环境透声地连接。该MEMS传感器包括传感器壳体中的第二开口，该第二开口将第二子容积与传感器壳体的外部环境透声地连接。
主权项：1.一种MEMS传感器系统，包括：系统壳体34，所述系统壳体34具有系统容积38；和MEMS传感器，所述MEMS传感器包括：传感器壳体12；膜14，布置在所述传感器壳体12中，其中所述传感器壳体12的第一子容积16与所述膜14的第一主侧面221相邻，并且所述传感器壳体12的第二子容积18与所述膜14的第二主侧面222相邻，其中所述第二主侧面222与所述第一主侧面221相对地布置；在所述传感器壳体12中的第一开口241，所述第一开口241将所述第一子容积16与所述传感器壳体12的外部环境26透声地连接，并且所述第一开口241将所述第一子容积16与所述系统壳体34的所述系统容积38流体耦合；在所述传感器壳体12中的第二开口242，所述第二开口242将所述第二子容积18与所述传感器壳体12的所述外部环境26透声地连接，并且所述第二开口242将所述第二子容积18与所述传感器壳体12的所述外部环境26流体耦合；弹性元件44，布置在所述第一开口241中，使得所述第一子容积16和所述系统容积38通过所述弹性元件44彼此间隔开，其中所述弹性元件44被构造为，基于所述系统容积38中的流体压力P或所述外部环境26中的流体压力P改变所述第一子容积16或所述第二子容积18的含量，以影响所述膜14的频率响应。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 英飞凌科技股份有限公司 MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法
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