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申请/专利权人：中外炉工业株式会社
摘要：在使被涂装涂布液的基板10的表面中的涂装部11的周缘部11a干燥时，以使基板中的涂装部的周缘部位于旋转台32的外周侧的方式将基板载置于旋转台上，并且将对位于旋转台的外周侧的基板中的涂装部的周缘部进行加热的加热体H在基板的下侧以不与基板接触的方式配置，并通过所述旋转台使基板旋转，并且通过所述加热体对位于旋转台的外周侧的基板中的涂装部的周缘部进行加热以使其干燥。
主权项：1.一种涂装部周缘处理装置，使被涂装涂布液的基板的表面中的涂装部的周缘部干燥，其特征在于，以使所述基板中的涂装部的周缘部位于旋转台的外周侧的方式将所述基板载置于旋转台上，并且将对位于所述旋转台的外周侧的基板中的涂装部的周缘部进行加热的加热体至少在所述基板的下侧以不与基板接触的方式配置，通过所述旋转台使所述基板旋转，并且通过所述加热体对位于旋转台的外周侧的基板中的涂装部的周缘部进行加热以使其干燥。
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