龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种超薄硅片表面的周缘缺陷检测分选仪及分类方法，涉及硅片检测技术领域，包括：设备平台，所述设备平台顶部固定连接有支撑框架，所述设备平台顶部固定连接有固定框，所述固定框顶部设置有转动架，转动架贯穿固定框并与固定框转动连接，所述转动架外侧固定连接有两个固定板且对称设置；通过翻转板两端的接触轮随着转动推动接触板，当接触板上升时通过推动板带动升降板进行上升，从而升降板带动检测探头上升，可以使检测探头可以随着固定框架的转动对硅片的距离也可以自动调整，达到对硅片翻转时依然可以处于最佳的检测位置。
主权项：1.一种超薄硅片表面的周缘缺陷检测分选仪，其特征在于，包括：设备平台1，所述设备平台1顶部固定连接有支撑框架1001，所述设备平台1顶部固定连接有固定框2，所述固定框2顶部设置有转动架3，转动架3贯穿固定框2并与固定框2转动连接，所述转动架3外侧固定连接有两个固定板301且对称设置；两个固定框架4，两个固定框架4外侧均固定连接有外固定架402，两个固定框架4外侧均固定连接有转动杆401，两个所述转动杆401分别贯穿两个固定板301并与固定板301转动连接，两个转动杆401靠近转动架3的一端与固定框2之间设置有传动件，当固定板301转动带动转动杆401移动时，通过传动带动固定框架4进行翻转，所述固定框架4内部设置有用于硅片固定的夹持组件；固定连接于转动架3外侧的两个检测架7，两个检测架7分别设置于两个固定框架4上部，所述检测架7内部滑动连接有升降板701，所述升降板701底部固定连接有用于检测的硅片的检测探头702，所述升降板701与转动杆401之间设置有推动组件，当固定框架4翻转时，通过推动组件推动升降板701升降，使检测探头702在对硅片翻转自动调整检测高度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司 一种超薄硅片表面的周缘缺陷检测分选仪及分类方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号