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申请/专利权人：四川永祥新能源有限公司
摘要：本实用新型公开了一种多晶硅生产用的真空烘存设备，属于多晶硅生产中硅芯的烘存设备技术领域，包括烘存箱、门和包裹在烘存箱外部的壳体，烘存箱的内腔设有不锈钢内胆，烘存箱还设有多层结构的托架，托架上分布有加热管，托架的上方放置有托盘，烘存箱上设有用于抽真空的连通管，连通管通过真空接头连接真空泵，烘存箱上安装有温度传感器和真空传感器，烘存箱上设有排气管，烘存箱通过排气管线连接排空呼吸器，解决了现有技术中电加热式的硅芯烘存设备烘干后的硅芯表面洁净度不高，导致硅芯表面质量不佳，从而影响硅芯质量的问题。
主权项：1.一种多晶硅生产用的真空烘存设备，其特征在于：包括烘存箱（1）、门（2）和包裹在烘存箱（1）外部的壳体（3），烘存箱（1）的内腔设有不锈钢内胆（4），烘存箱（1）还设有多层结构的托架（5），托架（5）上分布有加热管（6），托架（5）的上方放置有托盘（7），烘存箱（1）上设有用于抽真空的连通管（8），连通管（8）通过真空接头（9）连接真空泵（10），烘存箱（1）上安装有温度传感器和真空传感器，烘存箱（1）上设有排气管，烘存箱（1）通过排气管线连接排空呼吸器（23）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四川永祥新能源有限公司 一种多晶硅生产用的真空烘存设备
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