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一种RC-IGBT器件及终端结构 

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申请/专利权人:深圳市美浦森半导体有限公司

摘要:一种RC‑IGBT器件及终端结构,涉及半导体器件技术领域,终端结构包括漂移区、至少一个场限环、缓冲层以及第一掺杂区;漂移区具有第二导电类型,漂移区用于在终端结构处于正向耐压过程中作为耗尽区;场限环形成在漂移区上,具有第一导电类型;缓冲层位于漂移区的下方,缓冲层具有第二导电类型,缓冲层用于在器件处于正向耐压过程中作为场截止层,缓冲层的掺杂浓度大于漂移区的掺杂浓度;第一掺杂区位于缓冲层的下方,第一掺杂区具有第一导电类型,第一掺杂区用于降低缓冲层附近的电场强度。本申请可以降低所述缓冲层附近的电场强度,在器件关断时,减小了第一掺杂区附近的电流密度,增强了器件的电流关断能力和抗动态雪崩能力。

主权项:1.一种RC-IGBT器件的终端结构,其特征在于,所述终端结构包括漂移区1、至少一个场限环2、缓冲层4以及第一掺杂区3;漂移区1具有第二导电类型,所述漂移区1用于在所述终端结构处于正向耐压过程中作为耗尽区;所述场限环2形成在所述漂移区1上,具有第一导电类型;所述缓冲层4位于所述漂移区1的下方,所述缓冲层4具有第二导电类型,所述缓冲层4用于在所述终端结构处于正向耐压过程中作为场截止层,所述缓冲层4的掺杂浓度大于所述漂移区1的掺杂浓度;所述第一掺杂区3位于所述缓冲层4的下方,所述第一掺杂区3具有第一导电类型,所述第一掺杂区3用于降低所述缓冲层4附近的电场强度;所述第一导电类型和第二导电类型属于不同的半导体导电类型。

全文数据:

权利要求:

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