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申请/专利权人：通威太阳能(安徽)有限公司

摘要：本发明公开了一种异质结PVD镀铜工艺效果验证检测方法，包括如下步骤：1、获取镀有铜种子层的待测黄膜片；2、采用回刻液对待测黄膜片进行回刻清洗处理；3、对回刻清洗处理后的待测黄膜片进行烘干处理；4、对烘干处理后的待测黄膜片进行丝网印刷，得到印刷黄膜片；5、对印刷黄膜片进行电性能印刷测试，判断待测黄膜片上的铜种子层是否对TCO层及非晶硅层产生损伤；6、当待测黄膜片上的铜种子层对TCO层及非晶硅层产生损伤时，调整PVD磁控溅射工艺并获取新的待测黄膜片，重复2～5。本发明能提前得知PVD镀铜工艺是否会对TCO后的蓝膜片、非晶硅是否会造成损伤，达到提前预判的目的。

主权项：1.一种异质结PVD镀铜工艺效果验证检测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤（1）、获取经过PVD磁控溅射工艺镀有铜种子层的待测黄膜片；步骤（2）、采用回刻液对所述待测黄膜片进行回刻清洗处理以去除所述待测黄膜片上的所述铜种子层；步骤（3）、对回刻清洗处理后的待测黄膜片进行烘干处理；步骤（4）、对烘干处理后的待测黄膜片进行丝网印刷，得到印刷黄膜片；步骤（5）、对所述印刷黄膜片进行电性能印刷测试，根据电性能印刷测试结果判断所述待测黄膜片上的铜种子层是否对TCO层及非晶硅层产生损伤，具体包括：测试所述印刷黄膜片的电池实际Uoc，将电池实际Uoc与蓝膜片的标准Uoc进行对比，当电池实际Uoc与标准Uoc之间的差值大于2mV时，则表示所述待测黄膜片上的铜种子层对TCO层及非晶硅层产生损伤，当电池实际Uoc与标准Uoc之间的差值小于或等于2mV时，则表示所述待测黄膜片上的铜种子层对TCO层及非晶硅层未产生损伤；和或，测试所述印刷黄膜片的电池实际Isc，将电池实际Isc与蓝膜片的标准Isc进行对比，当电池实际Isc与标准Isc之间的差值大于50mA时，则表示所述待测黄膜片上的铜种子层对TCO层及非晶硅层产生损伤，当电池实际Isc与标准Isc之间的差值小于或者等于50mA时，则表示所述待测黄膜片上的铜种子层对TCO层及非晶硅层未产生损伤；步骤（6）、当所述待测黄膜片上的铜种子层对TCO层及非晶硅层产生损伤时，调整所述PVD磁控溅射工艺并获取新的待测黄膜片，重复步骤（2）~步骤（5），直至判断所述待测黄膜片上的铜种子层对TCO层及非晶硅层未产生损伤。

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