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申请/专利权人：深圳无限光能技术有限公司
摘要：本实用新型申请提供的连续蒸镀装置，包括蒸镀腔、气压调节组件和至少两个蒸镀源；蒸镀源均设置在蒸镀腔的内壁上，气压调节组件分别与蒸镀源连接，用于分别调整各个蒸镀源的真空度；蒸镀源包括料仓、料盒和加热装置，料仓上设置有第一阀门和第二阀门，料仓可通过第一阀门与蒸镀腔连通，第二阀门设置在料仓和蒸镀腔的内壁上，加热装置用于加热设置在料仓内的料盒。本实用新型提供的连续蒸镀装置通过在一个蒸镀腔中设置多个相互独立的蒸镀源，其中一个蒸镀源工作时，另外的蒸镀源处于准备状态，更换添加原料并不影响蒸镀腔的正常工作，能够完全实现蒸镀装置的连续加料和连续工作，良好解决蒸镀装置因添加原料而生产效率下降的技术问题。
主权项：1.一种连续蒸镀装置，其特征在于，包括控制器、蒸镀腔、气压调节组件和至少两个蒸镀源；所述控制器分别与所述气压调节组件和所述蒸镀源通信连接；所述蒸镀源均设置在所述蒸镀腔的内壁上，所述气压调节组件分别与所述蒸镀源连接，用于分别调整各个所述蒸镀源的真空度；所述蒸镀源包括料仓、料盒和加热装置，所述料仓上设置有第一阀门和第二阀门，所述料仓可通过所述第一阀门与所述蒸镀腔连通，所述第二阀门设置在所述料仓和所述蒸镀腔的内壁上，所述加热装置用于加热设置在所述料仓内的所述料盒。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳无限光能技术有限公司 连续蒸镀装置
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