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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本文描述的实施方式涉及用于测量和表征利用玻璃基板的增强现实和虚拟现实波导结构的性能的设备。波导性能测量系统通常包括：光源，被配置为将光导向波导上的输入耦合光栅区域；以及一个或多个光探测器，被配置为从波导的第二侧上的输出耦合光栅区域收集光。光源和一个或多个光探测器设置在围绕波导定位的一个或多个可调节工作台上。在某些实施方式中，一个或多个可调节工作台被配置为以线性方式移动或以轨道运动围绕波导绕转和或旋转。
主权项：1.一种波导计量系统，包括：光源，所述光源耦接到第一工作台并且被配置为将光导向设置在第二工作台上的样本波导保持器，所述光源设置在所述第二工作台的第一侧；一个或多个扫描探测器，所述一个或多个扫描探测器耦接到第三工作台，所述第三工作台在所述第二工作台的与所述第一侧相对的第二侧，所述一个或多个扫描探测器被配置为收集在从所述样本波导保持器朝向所述第二侧的第一方向上传输的光；反射探测器，所述反射探测器耦接到第四工作台，所述第四工作台在所述第二工作台的所述第一侧，所述反射探测器被配置为收集在从所述样本波导保持器朝向所述第一侧的第二方向上反射的光；和光谱仪，所述光谱仪与所述一个或多个扫描探测器通信，其中所述系统被配置为测量在所述样本波导保持器中的样本波导的反射和透射光衍射效率特性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于波导计量的方法与设备
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