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申请/专利权人：雷纳技术有限责任公司
摘要：一种用液体4处理基板14的设备24,24a‑d，该设备24,24a‑d具有输送装置26，通过该输送装置可沿输送方向18输送基板14通过包含液体4的容器28；该容器28包括具有边缘32,44,54,60,74的挡板30,40,52,58,64,70，基板14可以在该边缘上经过，且该边缘的至少一部分相对于基板14的传送方向18倾斜地延伸。以及，用液体4处理基板14的设备24,24a‑d中使用的挡板30,40,52,58,64,70，所述挡板具有至少一个边缘32，44,54,60,74，该边缘的至少一部分倾斜地延伸；挡板30,40,52,58,64,70在设备24,24a‑d中的用途；以及，用于从基板边缘22分离液体薄片38的方法。
主权项：1.一种用于从基板边缘分离液体薄片的方法，其中在沿着基板的边缘延伸的液体薄片38的至少一个点处形成一个撕裂前沿39，所述撕裂前沿39沿着基板的边缘22被引导并且以这种方式减小了液体薄片38的宽度。
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权利要求：
百度查询： 雷纳技术有限责任公司 用于处理基板的设备
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