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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：一种生成用于图案化过程的特征图案和训练机器学习模型的方法。用于生成特征图案的方法包括：获得经训练的生成器模型和输入图案，该经训练的生成器模型被配置为生成特征图案例如热点图案；以及经由经训练的生成器模型例如CNN的模拟，基于输入图案生成特征图案，其中，输入图案是随机向量、一种类型图案中的至少一者。
主权项：1.一种训练用于生成图案化过程的特征图案的机器学习模型的方法，所述方法包括：获得机器学习模型，所述机器学习模型包括：i生成器模型，其被配置为生成在经受图案化过程的衬底上的待印刷的特征图案，和ii鉴别器模型，其被配置为区分所述特征图案与训练图案；以及经由计算机硬件系统，基于包括所述训练图案的训练集以相互协作方式训练所述生成器模型和所述鉴别器模型，使得所述生成器模型生成匹配所述训练图案的所述特征图案，并且所述鉴别器模型将所述特征图案识别为所述训练图案，其中，所述特征图案和所述训练图案包括热点图案。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 用于生成特性图案和训练机器学习模型的方法
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