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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：描述了一种用于产生射频RF波形的系统和方法。该方法包括定义由不具有开关脉冲的关状态分开的连串的开关脉冲。该方法进一步包括施加多电平脉冲波形，该多电平脉冲波形调整每个开关脉冲的幅值以产生RF波形。该方法包括将RF波形发送到电极。
主权项：1.一种产生正弦形化的波形的方法，其包括：定义第一开关脉冲射频时钟，其中所述第一开关脉冲射频时钟具有第一多个方波信号和第二多个方波信号，其中所述第一多个方波信号和所述第二多个方波信号通过关断状态分离，所述关断状态不具有开关脉冲；施加调整所述第一开关脉冲射频时钟的幅值的第一整形波形，以产生第一经整形的波形；通过从所述第一经整形的波形提取第一正弦形化的波形来基于所述第一经整形的波形产生第一正弦形化的波形；以及发送所述第一正弦形化的波形至第一电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于半导体RF等离子体处理的脉冲内的RF脉冲
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