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申请/专利权人：张家港奇点光电科技有限公司
摘要：本发明属于激光曝光技术领域，具体的说是一种激光直写曝光机光源，包括曝光模块，曝光模块的前端设有曝光窗口，曝光模块的下端设有底座框架，底座框架的内部设有调控装置，且调控装置设在曝光模块的下端；调控装置包括：放置平台，放置平台设在底座框架的表面。通过设置第一伸缩罩与第二伸缩罩，在曝光之前，启动调节杆，调节杆将会带着第一伸缩罩向下移动，在移动一段距离之后，放置平台将会向上移动，最终放置平台将会移动到第一伸缩罩的内部，就可以使得曝光所用的基片处于黑暗的环境中，从而避免受到外部光线的影响，且位于第二伸缩罩内部的反射镜也将会被打开，从而可以反射更多的光线，增加曝光亮度，提高曝光效果。
主权项：1.一种激光直写曝光机光源，其特征在于：包括曝光模块（1），所述曝光模块（1）的前端设有曝光窗口（2），所述曝光模块（1）的下端设有底座框架（3），所述底座框架（3）的内部设有调控装置（4），且调控装置（4）设在曝光模块（1）的下端；所述调控装置（4）包括：放置平台（402），所述放置平台（402）设在底座框架（3）的表面，且放置平台（402）在曝光窗口（2）的下端，放置平台（402）的表面放置有基片（5）；固定框（401），所述固定框（401）设在曝光窗口（2）的侧壁；第一伸缩罩（406），所述第一伸缩罩（406）在固定框（401）的内部滑动；第二伸缩罩（409），所述第二伸缩罩（409）与第一伸缩罩（406）相连接，且第二伸缩罩（409）在固定框（401）的内部滑动；反射镜（410），所述反射镜（410）转动连接在第二伸缩罩（409）的表面，且反射镜（410）在初始状态下与固定框（401）的内壁相抵接；第一卷簧（411），所述第一卷簧（411）设在反射镜（410）的两端，且第一卷簧（411）的另一端与第二伸缩罩（409）相连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 张家港奇点光电科技有限公司 一种激光直写曝光机光源
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