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申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司
摘要：公开了一种衬底处理设备。示例性衬底处理设备包括：多个反应室；气体供应单元，其配置为向反应室提供主气体；共享排气单元，其配置为从多个反应室排出主气体；多个排气管线，其配置为将共享排气单元流体联接到多个反应室；以及多个稀释气体管线，其配置为将稀释气体提供到多个排气管线中。
主权项：1.一种衬底处理设备，包括：多个反应室；多个气体供应单元，其配置为向反应室提供主气体；共享排气单元，其配置为从多个反应室排出主气体；多个排气管线，其配置为将共享排气单元流体联接到多个反应室；以及多个稀释气体管线，其配置为将稀释气体提供到多个排气管线中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASMIP私人控股有限公司 共享排气单元和包括共享排气单元的衬底处理设备
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