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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
摘要：本发明提供了一种基于GSTGe2Sb2Te5相变材料的可调谐结构色超表面及制备方法。本发明的基于GST相变材料的可调谐结构色超表面，包括自下而上依次层叠设置的硅片衬底、Pt薄膜、底层ITO薄膜、GST相变薄膜和顶层ITO薄膜。本发明的可调谐结构色超表面是由多层薄膜简单堆叠而成，工艺简单，易于制备；该超表面在接受入射光后能够选择性地反射特定波长的可见光形成颜色，并且通过改变超表面结构可以产生不同的结构色，该结构色超表面在可见光波段具有非易失性、高分辨率、低功耗、动态可调等特点，与半导体制造工艺具有兼容性，相比于染料和颜料，该结构色超表面具有环境友好性以及良好的稳定性。
主权项：1.一种基于GST相变材料的可调谐结构色超表面，其特征在于，包括自下而上依次层叠设置的硅片衬底、Pt薄膜、底层ITO薄膜、GST相变薄膜和顶层ITO薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 一种基于GST相变材料的可调谐结构色超表面及制备方法
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