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申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司
摘要：本实用新型提供了一种半导体目检系统，包括观察部，以及向所述观察部装载或卸载晶圆的转运部，其中：所述观察部包括治具本体、容纳槽和照明件，所述治具本体具有承载所述晶圆的承载面，所述容纳槽从所述承载面向所述治具本体内凹陷形成，且所述容纳槽沿着所述治具本体的径向设置，所述容纳槽可用于容纳所述转运部，所述照明件设于所述治具本体；本实用新型通过转运部替代人工转运晶圆，可以避免晶圆上留下指印和损伤，观察部替代目检盒，避免晶圆相对观察部运动时摩擦造成的损伤，从而能够降低晶圆在目检过程中人为导致的损伤率和不良率。
主权项：1.一种半导体目检系统，其特征在于，包括观察部，以及向所述观察部装载或卸载晶圆的转运部，其中：所述观察部包括治具本体、容纳槽和照明件，所述治具本体具有承载所述晶圆的承载面，所述容纳槽从所述承载面向所述治具本体内凹陷形成，且所述容纳槽沿着所述治具本体的径向设置，所述容纳槽可用于容纳所述转运部，所述照明件设于所述治具本体。
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权利要求：
百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 半导体目检系统
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