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申请/专利权人：上海大学
摘要：本发明提供了一种高通量薄膜晶体结构表征装置及方法，包括电子枪发射机构、面探测器、低温控制系统、样品台控制装置、样品台、真空系统；利用易聚焦的电子束作为探测源，通过聚焦元件的汇聚作用，可将电子束束斑直径缩小至微米量级，从而提高样品表面的空间分辨率；通过对电子束的偏转作用可以改变电子束的入射角，从而可以根据实际实验需求改变样品表面的空间分辨率；通过样品台移动机构可以实现样品台沿平面内的高精度可控移动，并通过逐一扫描各个样品完成高通量薄膜中所有样品的晶体结构表征，可以用于高通量薄膜晶体结构表征。
主权项：1.一种高通量薄膜晶体结构表征装置，其特征在于：包括电子枪发射机构、面探测器、低温控制系统、样品台控制装置、样品台和真空系统；其中，所述电子枪发射机构包括电子枪、聚焦元件和电子束偏转装置；所述低温控制系统包括闭循环制冷机和换热机构；所述样品台控制装置包括样品台移动机构、样品台旋转机构和中空Z轴驱动器；所述真空系统包括真空泵、真空计、真空腔和真空接口；所述闭循环制冷机连接所述换热机构并位于所述样品台上方；所述真空接口位于所述中空Z轴驱动器上方并封闭所述真空腔，所述样品台移动机构和所述样品台旋转机构安装于所述真空接口上并连接所述中空Z轴驱动器，所述电子枪和所述面探测器分别位于所述真空腔的两侧；所述电子束偏转装置位于所述真空腔内部，所述聚焦元件设置于所述电子枪和所述电子束偏转装置之间；所述真空泵设置于所述真空腔侧壁，所述真空计设置于所述真空腔侧壁；所述样品台移动机构控制所述样品台沿x轴、y轴和z轴方向的移动；所述样品台旋转机构控制所述样品台沿z轴的旋转；所述中空Z轴驱动器用于控制所述低温控制系统及样品台整体沿z轴的移动；所述样品台上集成有温度反馈控制系统；所述闭循环制冷机包括制冷头、压缩机和气体输送管道；所述制冷头伸入到所述换热机构内，所述压缩机通过气体传输管道连接所述制冷头。
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权利要求：
百度查询： 上海大学 一种高通量薄膜晶体结构表征装置及方法
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