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申请/专利权人：未来儿股份有限公司
摘要：本发明提供基板收纳容器，具备容器主体、能够相对于容器主体开口部拆装且能够封闭容器主体开口部的盖体、以及与盖体一起封闭容器主体开口部的密封部件，提高基板收纳空间的气密性，以便当通过供气用过滤器部从容器主体的外部空间向基板收纳空间供给的气体的供给量为每分钟22L以下的情况下，能够将供给到基板收纳空间的气体的50％以上的气体从排气用过滤器部排出。
主权项：1.一种基板收纳容器，其特征在于，所述基板收纳容器具备：容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部的开口周缘部；盖体，能够相对于所述开口周缘部拆装，且能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；密封部件，安装于所述盖体，能够与所述盖体和所述开口周缘部抵接，通过夹设在所述开口周缘部与所述盖体之间并与所述开口周缘部和所述盖体紧密地抵接，与所述盖体一起封闭所述容器主体开口部；以及过滤器部，具有能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部空间连通的通气路、配置于所述通气路的过滤器以及形成所述通气路的过滤器部壳体，所述过滤器部配置于所述容器主体，能够使气体穿过所述过滤器在所述容器主体的外部空间与所述基板收纳空间之间通过，所述过滤器部具有：排气用过滤器部，能够使气体从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部空间流通；以及供气用过滤器部，能够使气体从所述容器主体的外部空间向所述基板收纳空间流通，提高所述基板收纳空间的气密性，以便在通过所述供气用过滤器部从所述容器主体的外部空间向所述基板收纳空间供给的气体的供给量为每分钟22L以下的情况下，能够将供给到所述基板收纳空间的气体的50％以上的气体从所述排气用过滤器部排出，所述过滤器设置于使气体从所述基板收纳空间向所述容器主体的外部空间流通的排气用的所述通气路，将所述通气路划分成上游侧和下游侧，所述过滤器中能够流通气体的排气过滤器膜有效总面积为200mm2以上。
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