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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明提供一种基板清洗方法、基板清洗装置及存储介质，所述基板清洗方法进行nn为2以上的整数次在清洗部件与旋转的基板接触的状态下使所述清洗部件在所述基板上的第一位置与位于所述基板的边缘附近的第二位置之间移动的步骤，控制使所述清洗部件移动的驱动部的控制部控制所述驱动部，以便在第1～n‑1次中的至少1次中，在所述清洗部件到达所述第二位置之后，以规定时间执行在所述清洗部件与所述基板上的第二位置接触的状态下进行所述基板的清洗的边缘清洗工序，并且控制所述驱动部，以便在第n次中，在所述清洗部件到达所述基板的所述第二位置的时刻，使所述清洗部件从所述基板离开。
主权项：1.一种基板清洗方法，所述基板清洗方法进行n次在清洗部件与旋转的基板接触的状态下使所述清洗部件在所述基板上的第一位置与位于所述基板的边缘附近的第二位置之间移动的步骤，n为2以上的整数，该基板清洗方法的特征在于，对使所述清洗部件移动的驱动部进行控制的控制部控制所述驱动部，以便在第1～n-1次中的至少1次中，在所述清洗部件到达所述第二位置之后，以规定时间执行在所述清洗部件与所述基板上的第二位置接触的状态下进行所述基板的清洗的边缘清洗工序，并且，所述控制部控制所述驱动部，以便在第n次中，在所述清洗部件到达所述基板的所述第二位置的时刻，使所述清洗部件从所述基板离开。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 基板清洗方法、基板清洗装置及存储介质
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