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申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要：本发明涉及一种用于嵌套式X射线聚焦镜的膜层及其设计方法，属于X射线光学仪器技术领域，实现宽X射线能段具有高反射率、大有效面积的多层膜系技术问题，其方法包括根据目标能段需求，确定聚焦镜膜系的材料参数；依据聚焦镜膜系的材料参数，计算聚焦镜在目标能段的反射率；在相应的层数区间选择合适的膜系参数，形成宽谱响应的大有效面积多层嵌套式X射线聚焦镜膜系设计方案。其膜层为多层膜，包括Au单层、Au+C4、Au+C6、Au+C10、Au+Ni4、Au+Ni6、Au+Ni10。该发明用于嵌套式X射线聚焦镜。
主权项：1.一种用于嵌套式X射线聚焦镜的膜层设计方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1，根据目标能段需求，确定聚焦镜膜系的材料参数；步骤S2，依据聚焦镜膜系的材料参数，计算聚焦镜在目标能段的反射率，得到有效面积曲线；所述有效面积曲线描述不同入射能量下不同膜系聚焦镜有效面积与聚焦镜嵌套层数的对应关系；步骤S3，根据有效面积曲线在不同能段的积分表现，在相应的层数区间选择合适的膜系参数，作为非周期多层膜系的设计参数，形成宽谱响应的大有效面积多层嵌套式X射线聚焦镜膜系设计方案。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种用于嵌套式X射线聚焦镜的膜层及其设计方法
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